特征
紅外板厚度監(jiān)視器測量半透明板的厚度，如電池隔板、低反射涂層(如黑色保護(hù)層)和硅。它
可用于從實(shí)驗(yàn)室水平到生產(chǎn)中在線100%檢測的所有應(yīng)用。紅外吸收系統(tǒng)由一個(gè)帶有透射光
學(xué)系統(tǒng)的緊湊型鏡面探頭組成，可在100多個(gè)波長下同時(shí)測量多種參數(shù)，如薄膜厚度、密度
和成分。
1
測量半透明板、低反射膜、硅等的厚度。這對于光學(xué)干涉測量來說是很困難的
3
高速測量
從950納米到1650納米的近紅外波長在100個(gè)點(diǎn)或更多點(diǎn)的同步采樣
4
厚度測量再現(xiàn)性小于等于0.1%(3σ)
5
測量算法
| 算法 | 校準(zhǔn)樣品 | 參數(shù)數(shù)量 |
|---|
| 蘭伯特-啤酒定律 | 1 | 厚度 |
| 最小二乘回歸方法 | 2或更多 | 多參數(shù)
(厚度、密度、復(fù)合比率等) |
更新時(shí)間：2023-12-08 
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